液体吸取装置.pdfVIP

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  • 2023-03-28 发布于四川
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本实用新型公开了一种液体吸取装置,液体吸取装置用于吸取长晶炉内的液体,长晶炉包括炉体,液体吸取装置包括储存容器、抽吸管和抽吸组件,储存容器内限定出储存空间,且储存容器上形成有液体进口和通气口,液体进口和通气口分别与储存空间连通,抽吸管设在储存容器上且抽吸管内限定出抽吸通道,抽吸通道与液体进口连通,抽吸管适于伸入炉体内,抽吸组件与通气口连通以减小储存空间内的压力。根据本实用新型的液体吸取装置,结构简单,可以及时移除长晶炉内污染的液体,保证生产持续进行。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214004858 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022052280.4 (22)申请日 2020.09.17 (73)专利权人 徐州晶睿半导体装备科技有限公

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