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- 2023-03-28 发布于四川
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本实用新型涉及一种安装在半导体工艺设备前端的过滤器阀箱,包含箱体和箱体内的快拆过滤器、集成阀组、入口管道、出口管道、回流管道和传感器，集成阀组包含第一接口、第二接口、第三接口、第四接口和第一开关、第二开关；集成阀组位于快拆过滤器下方，第一接口与入口管道连接，第二接口与回流管道连接，第三接口与传感器连接，第四接口与快拆过滤器下端连接，出口管道与快拆过滤器上端连接；第一接口与第二接口之间形成第一通道，第一开关设于所述第一通道内，第三接口与所述第四接口之间形成第二通道，第二开关设于第二通道内。本实用新
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213995070 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202021470240.5
(22)申请日 2020.07.23
(73)专利权人 上海天隽机电设备有限公司
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