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- 2023-03-28 发布于四川
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本实用新型公开了一种防止PECVD镀膜边缘发红的石墨框装置，包括石墨框，石墨框内设有边缘边框和中间边框，所述的中间边框呈纵横交错式分布，中间边框与边缘边框之间相交形成若干个载片单元，所述的载片单元用于承载硅片，载片单元的排数为E，列数为F，所述的E和F均为大于等于2的整数，所有的载片单元的四周均设有下沉槽，边缘边框的外侧设有一圈凹槽，所述的凹槽位于石墨框内侧，凹槽距边缘载片单元的间距为2～4mm，凹槽的深度大于2mm，凹槽的深度小于石墨框的厚度，凹槽的左右两侧设有定位孔。本实用新型可有效增加载板
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214004779 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202022487454.X H01L 31/18 (2006.01)
(22)申请日 2
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