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一种高精密气浮平台.pdfVIP

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  • 2023-03-28 发布于四川
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一种高精密气浮平台.pdf

    本申请涉及一种高精密气浮平台，包括工作台及工作台台面上的测量装置，工作台下侧开设有送气孔，送气孔底侧连通有送气通道，送气通道远离工作台一侧固定连接有风机，工作台上侧开设有出气孔，测量装置滑动连接于工作台两侧，测量装置包括两个相对的伸缩组件及刻度尺，两个伸缩组件滑动连接与工作台两侧，刻度尺固定连接于两个伸缩组件的顶部，刻度尺上刻制有第一刻度线。本申请具有提高气浮平台操作精度的效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214000075 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022422412.8 (22)申请日 2020.10.26 (73)专利权人 济南鑫德石通精密机械有限公司

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