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等离子清洗机应用及原理 一、金属表面去油及清洁 金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、 铜焊和 PVD、CVD 涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 在这种情 况下的等离子处理会产生以下效果： 1.1灰化表面有机层 －表面会受到化学轰击（氧 下图） －在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发 －污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出 －紫外辐射破坏污染物 因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。 1.2氧化物去