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一种针对COF加工的激光整形光路装置.pdfVIP

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  • 2023-03-28 发布于四川
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一种针对COF加工的激光整形光路装置.pdf

    本实用新型涉及新型激光加工技术领域，特指一种针对COF加工的激光整形光路装置，包括激光光源、半波片、高速偏振旋转器、偏振分光晶体一、光学衍射装置、偏振分光晶体二、扫描装置与样品平面，激光光源与半波片对应设置，半波片与高速偏振旋转器对应设置，高速偏振旋转器与偏振分光晶体一对应设置，偏振分光晶体一通过反射组件一或光学衍射装置与偏振分光晶体二对应设置，偏振分光晶体二通过反射组件二与扫描装置对应设置，扫描装置与样品平面对应设置。采用这样的结构设置，利用衍射光学器件来分光及光学元件器切换光路，既提高了加工

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213998202 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022116480.1 (22)申请日 2020.09.24 (73)专利权人 安兴精密（深圳）有限公司

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