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本实用新型公开了一种晶圆固定机构，包括下顶板，所述下顶板上方两侧对称设有基板；两侧的基板与下顶板组成“H”型，所述下顶板正上方设有铁框，所述铁框上方安装有粘性的薄膜，所述薄膜上方安装晶圆；位于晶圆的上方设有上盖板，所述上盖板与两侧的基板固定连接；两侧的基板上分别设有压紧组件且压紧组件对称设置，所述压紧组件与下顶板连接。本实用新型的有益效果是，将上盖板固定安装于两侧的基板上，通过压紧组件能够带动下顶板上下移动，从而将下顶板上方的晶圆与薄膜紧紧顶靠在上盖板的下方，从而使得晶圆能够达到平衡状态，保证了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213985161 U
(45)授权公告日 2021.08.17
(21)申请号 202120299034.0
(22)申请日 2021.02.02
(73)专利权人 苏州矩浪科技有限公司
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