一种扫描电镜下样品样貌特征定位装置.pdfVIP

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2023-03-28 发布于四川
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一种扫描电镜下样品样貌特征定位装置.pdf

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一种扫描电镜下样品样貌特征定位装置，主要包括样品托，样品托上开有第一样品凹槽、第二样品凹槽、第三样品凹槽，第一样品凹槽、第二样品凹槽、第三样品凹槽上分别开有第一镂空定位薄板凹槽、第二镂空定位薄板凹槽、第三镂空定位薄板凹槽，第一样品凹槽、第二样品凹槽、第三样品凹槽的底部均激光刻有轴向边界索引坐标、纵向边界索引坐标、索引线，第一、第二、第三镂空定位薄板凹槽内置有钛合金材料的镂空定位薄板，镂空定位薄板的骨架上激光刻有对应镂空区域编号。采用本实用新型的方法及设备，可实现扫描电镜下样品样貌特征的定位，具有

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213986259 U (45)授权公告日 2021.08.17 (21)申请号 202022635127.4 (22)申请日 2020.11.16 (73)专利权人河南理工大学地址