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一种湿法均匀腐蚀剥离石英片的装置.pdfVIP

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  • 2023-03-28 发布于四川
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一种湿法均匀腐蚀剥离石英片的装置.pdf

    本实用新型公开了一种湿法均匀腐蚀剥离石英片的装置，包括装有氢氟酸溶液的反应容器，所述反应容器底部设置有搅拌设备，所述反应容器顶部设置有支架，所述支架的一部分伸入反应容器内部，且该部分末端设置有夹子，每个所述夹子均夹有用于内置石英片的网袋。本实用新型弥补了现在湿法腐蚀剥离石英片不可控的欠缺，并将其用于材料领域石英片加工。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214004437 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022266646.8 (22)申请日 2020.10.13 (73)专利权人 天津大学 地址 3

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