原创力文档- 3
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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型提供一种具有吹扫气路结构的旋板阀以及投料清理系统，包括旋板阀腔室和安装于旋板阀腔室下端出口的旋转阀板；还包括旋板阀充气管道，旋板阀充气管道设置于旋板阀腔室内，并位于旋转阀板的上方；旋板阀充气管道的充气口连接至外部的惰性气体输送管路，旋板阀充气管道上分布有多个排气口，用于将旋板阀腔室内积落的硅粉及杂质吹起进入副室。本实用新型利用该旋板阀阀板吹扫气路结构，在二次投料后，对旋板阀进行吹扫清理，从而有效提高晶体生长环境的清洁度，促进生长出更高质量的晶棒。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214032747 U
(45)授权公告日 2021.08.24
(21)申请号 202023088718.0
(22)申请日 2020.12.21
(73)专利权人 西安创联新能源设备有限公司
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