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一种硅片生产用运输装置.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种硅片生产用运输装置.pdf

    本实用新型提供一种硅片生产用运输装置，涉及半导体领域。该硅片生产用运输装置，包括车板，所述车板的左侧固定连接有扶手，所述车板的上表面固定连接有固定柱，所述车板的上表面固定连接有立柱，所述立柱的顶端固定连接有螺杆，所述立柱的表面套接有第一缓冲弹簧、活动环和套筒。该硅片生产用运输装置，通过储存箱、弹簧、推板、盖板和滑块的配合，达到便于将硅片进行放置和取出，同时避免硅片相互碰撞，通过第一缓冲弹簧、活动环、脚座和第二缓冲弹簧的配合，达到对于硅片运输中的颠簸进行缓冲，解决了现有的硅片生产用运输装置只是将硅

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214001692 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022684458.7 (22)申请日 2020.11.19 (73)专利权人 浙江旭盛电子有限公司

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