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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型公开了一种高效晶圆片的清洗装置，包括清洗桶，所述清洗桶主要由外桶体、内桶体、喷头组成，所述外桶体内侧顶部固定有所述内桶体，所述内桶体内侧顶部设置有向下倾斜的所述喷头，还包括驱动机构，所述驱动机构包括机架、电机，所述机架通过螺栓连接在所述外桶体顶部。本实用新型通过联动的方式对晶圆进行清洗，实现了一次清洗多个晶圆的功能，提高了清洗效率，还可以在晶圆上升的过程中，利用内桶体内部的清洗液对晶圆进行冲洗，使得外桶体内部的清洗液使用的时间更长，进而实现了节约清洗液的功能；还实现了可以安装不同大小的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214012912 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202023292126.0
(22)申请日 2020.12.30
(73)专利权人 江苏亚电科技有限公司
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