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一种模拟手动晶圆清洗的晃篮机.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种模拟手动晶圆清洗的晃篮机.pdf

    本实用新型公开了一种模拟手动晶圆清洗的晃篮机，包括摇摆机构，所述摇摆机构中包含有摆动组件以及转动组件，所述摆动组件中包含有第一电机，所述第一电机输出端固定安装有滚轴，所述滚轴另一端固定安装有转盘，所述转盘偏离圆心的位置固定安装有连接块，所述连接块上套接有固定环，所述固定环外部固定安装有摆动杆，所述固定环靠近下端部的位置固定安装有转动组件；所述转动组件中包含有固定架，所述固定架一侧开设有第一圆槽，所述摆动杆靠近下方的位置开设有第二圆槽，所述第二圆槽内部活动安装有连接轴，所述连接轴两端均与第一圆槽内

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214043607 U (45)授权公告日 2021.08.24 (21)申请号 202023038121.5 (22)申请日 2020.12.17 (73)专利权人 济南卓微电子有限公司

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