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气液抽取分离装置及光刻机.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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气液抽取分离装置及光刻机.pdf

    本实用新型提供了一种气液抽取分离装置及光刻机，涉及半导体加工设备领域，为解决现有的气液抽取分离装置无法满足光刻机不同工况下的气液抽取分离需求的问题而设计。该气液抽取分离装置用于光刻机，包括控制模块和多组气液抽取分离模块，多组气液抽取分离模块分别配置为抽取分离不同的气液混合体；气液抽取分离模块包括通过管路依次连接的真空吸附头、通断阀和气液分离箱，真空吸附头被配置为抽取气液混合体；控制模块被配置为控制气液抽取分离模块工作；气液分离箱被配置为对气液混合体进行气液分离。该光刻机包括上述气液抽取分离装置。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214043606 U (45)授权公告日 2021.08.24 (21)申请号 202022984194.7 (22)申请日 2020.12.11 (73)专利权人 北京华卓精科科技股份有限公司

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