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晶圆用的化学机械研磨机台.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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晶圆用的化学机械研磨机台.pdf

    本实用新型提供一种晶圆用的化学机械研磨机台，包含：基座，为金属圆盘状，中心位置开设有轴孔，供以固定插设旋转轴芯，且所述轴孔的环侧设有至少三个导流孔，所述导流孔贯穿所述基座；其中所述导流孔分别与所述轴孔等距，且相邻的二个所述导流孔相互连成线可成形为正多边形；研磨垫，对应设置于所述基座一侧，所述研磨垫具有若干个沟槽与对应所述导流孔数量设有至少三个浆料孔，所述浆料孔分别对应所述导流孔设置而形成导通状态，所述浆料孔与所述沟槽亦相互连通，且所述沟槽分别延伸至所述研磨垫侧边而形成开放导流状态；及晶圆固定座，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213999055 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022751347.3 (22)申请日 2020.11.25 (73)专利权人 中盛兴业科技发展有限公司

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