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曝光机及基于光纤的均光光源.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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曝光机及基于光纤的均光光源.pdf

    本实用新型的实施例公开一种曝光机及基于光纤的均光光源。所述均光光源包括激光器、输出光纤、矩形纤芯光纤和能调节靶面上的光斑大小的第一光学单元；所述激光器能将光输入至所述输出光纤的一端；所述输出光纤的另一端能将光输入至所述矩形纤芯光纤的一端；所述矩形纤芯光纤的另一端能将光输入至所述第一光学单元；所述第一光学单元能将光投射至所述靶面。所述曝光机包括所述均光光源。本实用新型的实施例能减少光损耗。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214011720 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202023023314.3 (22)申请日 2020.12.15 (73)专利权人 深圳光韵达光电科技股份有限公

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