原创力文档- 3
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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型实施例涉及光伏设备技术领域，公开了一种管式镀膜石墨舟。包括沿第一方向间隔设置的若干石墨舟片，至少一对相邻的所述石墨舟片间和/或至少一个所述石墨舟片内设有加热载体。通过设置加热载体，可以主动精准控制石墨舟片的温度，使石墨舟片上的温度分布均匀，解决了现有的石墨舟片由于受外部热场影响，导致温度分布不均匀，外侧温度高于内侧温度，石墨舟片的舟尾侧温度高于石墨舟片的舟头侧温度的问题，使硅片沉积氮化硅速率均匀，氮化硅减反射膜膜色差异性小。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214012955 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202022772569.3
(22)申请日 2020.11.25
(73)专利权人 浙江晶科能源有限公司
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