原创力文档- 1
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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型提供单晶炉，该单晶炉包括单晶炉本体与供气装置，单晶炉本体包括炉盖部与炉颈部，炉颈部位于炉盖部的上方，炉颈部的内径小于炉盖部的内径；炉盖部上或其与炉颈部连接处设有第一进气口，炉颈部上设有第二进气口，供气装置包括气源、三通阀和三个供气管路；通过三通阀调节气体进入单晶炉本体的位置以调节气体进入单晶炉本体的气流方向，不同的气流方向适应不同工序下的单晶硅的形成，以增加单晶硅生长的环境要求；在单晶硅的制造过程中，当处于等径工序的时候氩气经过炉颈部后竖直向下吹向正在生长的单晶硅，可避免因从侧面吹而造
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214032746 U
(45)授权公告日 2021.08.24
(21)申请号 202022863075.6
(22)申请日 2020.12.03
(73)专利权人 曲
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