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中国实验室用水国家标准GB6682-2000
名 称 一 级 二 级 三 级
PH 值范围(25℃) - - 5.0-7.5
电导率(25℃),mS/m ≤ 0.01 0.10 0.50
比电阻(M Ω .cm.25℃)≥ 10 1 0.2
可氧化物质[以(0 )计],mg/L - 0.08 0.40
吸光度( 254nm,1cm 光程)≤ 0.001 0.01 -
蒸发残渣(105± 2℃),mg/L≤ - 1.0 2.0
可容性硅 [以(sio 2 )计] ,mg/L 0.01 0.02 -
中国电子行业超纯水国家标准GB/T1146.1-1997
级别
EW-I EW-II
指标
电阻率MΩ.cm (25℃) 18 以上(95%时间)不低于17 15 (95%时间)不低于13
硅≤ μ g/l 2 10
1 μ M 微粒数≤个/ml 0.1 5
细菌个数≤个/ml 0.01 0.1
铜≤ μ g/l 0.2 1
锌≤ μ g/l 0.2 1
镍≤ μ g/l 0.1 1
钠≤ μ g/l 0.5 2
钾≤ μ g/l 0.5 2
氯≤ μ g/l 1 1
硝酸根≤ μ g/l 1 1
磷酸根≤ μ g/l 1
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