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基板输送设备的基板持承装置.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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基板输送设备的基板持承装置.pdf

    一种基板输送设备的基板持承装置，包括多个持承构件及导引构件，各个该持承构件被设置为在持承位置与释放位置之间位移而持承基板或是解除对于该基板的持承，该导引构件被设置为使该持承构件进入持承状态切换区域时，切换至该持承位置或是该释放位置，以控制对于该基板的持承。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214046173 U (45)授权公告日 2021.08.24 (21)申请号 202022981360.8 (22)申请日 2020.12.11 (73)专利权人 群翊工业股份有限公司

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