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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型涉及晶片清洗辅助装置技术领域，公开了一种清洗夹具，清洗夹具包括夹具本体，所述夹具本体上相对设置有两个定位块，两个所述定位块之间限定有用于夹持晶片的安装位，两个所述定位块相对的一侧上均设有定位槽，两个所述定位槽用于分别夹持所述晶片的两个对角中的其中一个。采用本实用新型技术方案的清洗夹具，能匹配多种规格的方形晶片，并且对晶片的阻挡面积较小，方便清洗，并且能够清洗各种规格的方片，清洗效果更好。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214022508 U
(45)授权公告日 2021.08.24
(21)申请号 202022654549.6
(22)申请日 2020.11.16
(73)专利权人 广东先导先进材料股份有限公司
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