一种光刻机双工作台装置.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型公开了一种光刻机双工作台装置,包括动力箱,所述动力箱的内底部连接有竖直设置的中心轴,中心轴上转动套接有轴套,中心轴和轴套均向上贯穿动力箱的顶部,且中心轴的上端连接有线盘,轴套的上端对称连接有导轨,导轨上滑动套接有滑块,滑块顶部连接有工作台。本实用新型结构简单,电磁铁通电,吸引齿条上的衔铁,带动齿条移动,齿条与齿轮啮合,带动轴套转动,轴套带动其上的工作台旋转,实现工位切换,一边上料,一边加工,提高加工效率,在此过程中,线盘保持静止,绕线缠绕线盘,拉动两个工作台逐渐向中间靠拢,避免因为工作

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214011721 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202023309946.6 (22)申请日 2020.12.30 (73)专利权人 安徽睿芯半导体科技有限公司

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