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一种气体吹扫管路、反应腔及半导体设备.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种气体吹扫管路、反应腔及半导体设备.pdf

    本实用新型提供了一种气体吹扫管路、反应腔及半导体设备，所述气体吹扫管路包括相互连通的主管路和支流管路，主管路的进气口与一气源相连，主管路的出气口与所述反应腔相连；在反应腔处于工作状态时，支流管路处于关闭状态，主管路处于打开状态，气源提供的气体直接经主管路通入反应腔；在反应腔处于停机状态时，主管路和支流管路均处于打开状态，气源提供的气体经主管路的进气口进入支流管路进行冷却，冷却后的气体经主管路的出气口通入反应腔。本实用新型的气体吹扫管路利用冷却后的气体对反应腔进行吹扫降温，极大的缩短了反应腔的降温

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214012916 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202120249404.X (22)申请日 2021.01.28 (73)专利权人 上海华力微电子有限公司

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