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一种扩散泵底加热板结构.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种扩散泵底加热板结构.pdf

    本实用新型涉及扩散泵辅件技术领域，具体地说，涉及一种扩散泵底加热板结构。包括加热板和用于将加热板紧固在扩散泵底部的紧固装置，所述加热板与扩散泵的底部之间设置有石墨纸。本实用新型所述加热板和扩散泵的泵底中间垫石墨纸，可有效填充加热板和扩散泵底的间隙，保证有效传热，且石墨纸有可压缩性，保证重复加热冷却后加热板和扩散泵底始终有效接触传热，防止加热板因温度过高而损毁，同时，采用不锈钢或耐热钢制作的紧固装置，线涨系数小，能有效避免螺栓因加热线涨造成的加热板与泵底接触不良，从而避免加热板变形、损坏，以保证扩

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214007633 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022773699.9 (22)申请日 2020.11.25 (73)专利权人 山东省宝丰镀膜有限公司

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