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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型涉及一种治具、检测装置及激光掺杂设备。该治具包括：支撑板，所述支撑板内形成有真空通路；及透明盖板，设于所述支撑板上，所述透明盖板的横截面积大于所述支撑板的横截面积，所述透明盖板开设有若干吸附孔，所述吸附孔与所述真空通路相连通。上述治具，将透明盖板的横截面尺寸设计为大于支撑板的横截面尺寸，可增强治具的适用性，使得该治具能够适用于固定不同尺寸的硅片。当待加工硅片的尺寸超出支撑板的尺寸时，可通过透明盖板对硅片形成有效支撑，并且透明盖板不会对光源发出的光线形成遮挡而影响成像。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214043693 U
(45)授权公告日 2021.08.24
(21)申请号 202022940417.X
(22)申请日 2020.12.10
(73)专利权人 大族激光科技产业集团股份有限
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