原创力文档- 6
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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型提供一种基于单晶硅外延片生产用硅片清洗机，包括底座，所述底座的顶部固定连接有清洗槽，所述清洗槽的背面固定连接有驱动框，所述驱动框的正面滑动连接有升降板，所述升降板底部固定连接有防护罩，所述升降板的底部的两侧均固定连接有支撑架。本实用新型提供的基于单晶硅外延片生产用硅片清洗机，通过防护罩的设置，可以对清洗槽的顶部进行包裹，不仅提高了单晶硅片的清洗，而且避免清洗液的飞溅，提高了清洗的效果，而且通过存放槽滑动连接于固定板的顶部，进而可以对存放槽进行前后的运动，方便工作工作人员单晶硅片的拿取和
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213996949 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202023093259.5
(22)申请日 2020.12.21
(73)专利权人 四川雅吉芯电子科技有限公司
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