一种Ku波段硅基MEMS隔离器.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型公开了一种Ku波段硅基MEMS隔离器,包括密封凹半盒,所述密封凹半盒一侧固定安装有密封凸半盒,所述密封凹半盒和密封凸半盒内固定安装有隔离主体,所述隔离主体内固定安装有内部结构,所述密封凹半盒包括凹半盒体、凹盒槽、凹盒半槽和密封凹槽,所述密封凸半盒包括凸半盒体、凸盒槽、凸盒半槽和密封凸块,所述隔离主体包括铁氧体盒、密封安装口、密封连接块、固定片、安装螺母和连接螺管,所述内部结构包括硅腔、线路连接口、内部安装室和传输主板。本实用新型所述的一种Ku波段硅基MEMS隔离器,提供多重防护,加强其

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214013139 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202023121554.7 (22)申请日 2020.12.22 (73)专利权人 深圳市捷迅光电有限公司

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