一种超薄硅片的夹持装置.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型公开了一种超薄硅片的夹持装置,包括结构主体,所述结构主体包括夹持底座及载物架底座,所述夹持底座与所述载物架底座相连,所述夹持底座与所述载物架底座均设有滑轨,所述夹持底座一侧设有伺服电机,所述夹持底座还设有夹持架,所述载物架底座设有呈拱形的载物架,所述夹持架的中部穿设有连接杆,所述夹持架还设有第一夹持机构及第二夹持机构,所述第一夹持机构与所述第二夹持机构对称设于所述夹持架的两侧,且所述第一夹持机构与所述第二夹持机构均包括若干夹持件,本实用新型在的夹持的过程中具有高效、稳定的效果,还能防止

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214012924 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202120119724.3 (22)申请日 2021.01.19 (73)专利权人 意诚新能(苏州)科技有限公司

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