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基于MEMS的非等间距梳齿结构.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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基于MEMS的非等间距梳齿结构.pdf

    本实用新型公开了基于MEMS的非等间距梳齿结构，涉及微机电技术领域，包括围绕转轴旋转的上梳齿结构以及位于上梳齿结构下方的下梳齿结构，上梳齿结构包括若干个间隔设置的可动梳齿，且越远离转轴可动梳齿的梳齿间隙逐渐增大，下梳齿结构包括若干个等间隔设置的固定梳齿，可动梳齿与固定梳齿沿梳齿布置方向交错设置、互不接触，且可动梳齿的下边缘与固定梳齿的上边缘齐平，每个可动梳齿与其相邻右侧的固定梳齿的水平间距均不相等，根据水平间距设定值，对非等间距梳齿结构施加电压时，可动梳齿运动至对应的相邻固定梳齿间隙时，每个可动

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214011635 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202023278014.X (22)申请日 2020.12.29 (73)专利权人 无锡微视传感科技有限公司

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