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一种压力传感器.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种压力传感器.pdf

    本实用新型公开一种压力传感器，包括承载基板、弹性膜组件以及压力芯片；所述承载基板形成有一开口朝上的安装腔，所述安装腔的底壁开设有安装槽；所述弹性膜组件安装至所述安装腔的开口处，呈遮蔽所述安装腔的开口设置，所述弹性膜组件与所述安装腔之间共同形成一探测腔，所述弹性膜组件沿所述安装腔的深度方向具有弹性形变；所述压力芯片粘接在所述安装槽的底壁。本实用新型的技术方案中，在所述安装腔的底壁开设有安装槽，将压力芯片安装在安装槽内，在压力芯片通过粘接胶水粘接至承载基板上时，粘接胶水由于受到安装槽的槽壁的止挡，避

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214010598 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202023232958.3 (22)申请日 2020.12.28 (73)专利权人 武汉飞恩微电子有限公司

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