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一种用于清洗晶圆的夹紧装置.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种用于清洗晶圆的夹紧装置.pdf

    本实用新型涉及晶圆技术领域，公开了一种用于清洗晶圆的夹紧装置，包括：第一环体；第二环体，其套设在第一环体的外部；驱动机构，其用于驱动第二环体沿第二环体的轴向方向上移动；及多个支杆，支杆穿设于第一环体，且支杆的第一端与第二环体固定连接，支杆的第二端位于第一环体的内圈中，支杆的第二端具有用于夹持晶圆侧壁的夹持部。本实用新型将支杆穿过第一环体，利用第一环体作为支杆摆动的支点，当第二环体可以沿其轴向的方向上移动，带动支杆的第一端随第二环体移动，从而使支杆的第二端朝支杆的第一端移动方向的相反一侧移动，进而

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214022501 U (45)授权公告日 2021.08.24 (21)申请号 202022845241.X (22)申请日 2020.11.30 (73)专利权人 广东先导先进材料股份有限公司

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