原创力文档- 2
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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型公开了一种气浮式调节探针台，包括机台及设置于机台上的显微镜及探针馈电单元，其特征在于：所述机台的操作平台上设有移动载物台以及探针移动控制座，该移动载物台的底部设有气浮轴承，所述移动载物台上设有支撑轴及与支撑轴转动配合的且能够升降的旋转升降结构，所述探针移动控制座上设有安装板、X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构，且所述探针馈电单元设置于安装板上，所述旋转升降结构上设有用于放置测试元件的载物板，所述安装板通过X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构带动使探针馈电单元的探针与测试元件接
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214011319 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202023056670.5
(22)申请日 2020.12.17
(73)专利权人 广东柏兹电子科技有限公司
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