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化学机械研磨用的晶圆固定座.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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化学机械研磨用的晶圆固定座.pdf

    本实用新型提供一种化学机械研磨用的晶圆固定座，所述晶圆固定座为扁平片状的弹性结构体，并具有承载面及背面，其中所述承载面供以承载晶圆，且所述承载面一侧朝所述背面方向凹设成形有通气流道，所述通气流道的一端与所述晶圆固定座侧缘相互连接，另一端未与所述晶圆固定座侧缘相互连接。藉此，本实用新型的晶圆固定座无须针对不同尺寸晶圆备有不同载具，而可适应于各尺寸晶圆且快速固定并完成移除作业，大幅降低制程成本，减少移除时应力所造成的破片现象与不便性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213999052 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022751329.5 (22)申请日 2020.11.25 (73)专利权人 中盛兴业科技发展有限公司

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