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一种空间利用率高的晶圆升降装置.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种空间利用率高的晶圆升降装置.pdf

    一种空间利用率高的晶圆升降装置，包括机体，所述机体顶端设置有底板，底板底部两侧设置有滚轮，机体内部底端设置有安装座，安装座上设置有减震板，减震板顶端设置有电机，电机一侧设置有第一齿轮，第一齿轮一侧设置有第二齿轮，第二齿轮顶端设置有螺纹管，螺纹管上设置有旋管，所述旋管一端穿过机体顶端，电机通过第一齿轮带动第二齿轮进行转动，第二齿轮带动螺纹管在旋管内部可以进行旋进后旋出，使旋管带动支撑板进行升降，可以适用不同高度的进行使用，在载具两侧设置的调节螺栓，并且通过两侧的调节螺栓在通孔内进行旋转，可以使卡件

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214043622 U (45)授权公告日 2021.08.24 (21)申请号 202023001938.5 (22)申请日 2020.12.11 (73)专利权人 广州市鸿浩光电半导体有限公司

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