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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型提供了一种掩膜版承载装置，包括顶板、底板及设于顶板与底板之间的若干支撑柱，所述顶板、底板及支撑柱之间形成收纳掩膜版的收纳空间，所述收纳空间的侧面设有供所述掩膜版进出的开口，所述支撑柱朝向收纳空间的一侧自上而下设有多个用于支撑掩膜版的承载组件，所述承载组件包括支撑块及缓冲件，所述支撑块包括倾斜部及水平部，所述水平部设于所述倾斜部的下方并向内突伸，所述水平部用于搭载掩膜版，所述缓冲件在竖直方向上高于所述倾斜部，所述缓冲件为有机高分子缓冲件。如此设置，使得装载掩膜版时，掩膜版的边缘可以自缓冲
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214030047 U
(45)授权公告日 2021.08.24
(21)申请号 202022939748.1
(22)申请日 2020.12.10
(73)专利权人 苏州盟萤电子科技有限公司
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