多晶体X射线衍射分析的应用之五薄膜表面结构分析.pptxVIP

多晶体X射线衍射分析的应用之五薄膜表面结构分析;常用的X射线衍射分析薄膜的方法有： 1) 所形成的薄膜的层厚及均匀性(多层膜)——用小角X射线散射装置进行长周期散射的位置及各峰宽的测定。 2) 所形成的薄膜的层是由何种元素构成的(多层膜)——用小角X射线散射装置进行长周期强度的测定。 3) 所形成的薄膜层的结构测定——对所测定衍射图形进行定性分析(用PDF卡片进行物相检索)。 4) 所形成的薄膜层的晶体结构与距表面的距离变化的信息——使用薄膜X射线衍射法，采用低掠入射角法，对逐步改变X射线入射角时所得到的衍射图形进行定性分析。;一、薄膜X射线的光学系统; 对掠入射薄膜测试，一般应采用平行光束法。 进行薄膜测定时，两点注意： 1) 一定要采用低的掠入射角； 2) 当进行表面深度方向状态分析时，要提高入射X射线的平行度。;二、有效穿透深度;由上式可以获得以下信息： (1) 有效X射线穿透深度随?0的减小而变浅； (2) 当?0很小时，有效X射线穿透深度几乎不随反射线变化，即对于不同反射线(2?不同)，穿透深度近似等于常数。 于是，我们得出一个重要结论，在一定范围内改变?0取值，可以控制有效X射线的穿透深度。 ;应用实例－深度分析; PVD TiN膜的表面分析(?0＝1.0、1.5、2