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电阻应变式传感器传感器与检测技术 03 四月 2023 电阻应变式传感器电阻应变式传感器主要由电阻应变片及测量转换电路等组成。应变效应：导体或半导体材料在外力作用下会产生机械变形，其电发生变化的现象称为应变效应。 03 四月 20231.1电阻应变式传感器的工作原理金属丝受拉时，l变长、r变小，导致R变大 。 03 四月 20231.2 电阻应变片的类型结构、粘贴与特性应变片可分为金属应变片及半导体应变片两大类。前者可分成金属丝式、金属箔式、金属薄膜式三种。目前箔式应变片应用较多。金属丝式应变片使用最早，有纸基、胶基之分。由于金属丝式应变片蠕变较大，金属丝易脱胶，有逐渐被箔式所取代的趋势。但其价格便宜，多用于应变、应力的大批量、一次性试验。金属应变片金属丝式金属箔式金属薄膜式 03 四月 20231.电阻应变片的类型结构 03 四月 20236金属箔式应变片是利用光刻、腐蚀等工艺制成的一种很薄的金属箔栅，其横向部分特别粗，可大大减小横向效应，且敏感栅的粘贴面积大，能更好地随同被测物体变形。此外，与金属丝式应变片相比，它还具有散热条件好，允许通过的电流较大，可根据使用要求制成各种形状，便于批量生产等优点，所以其使用范围日益扩大，已逐渐取代金属丝式应变片。 03 四月 2023箔式应变片的外形 03 四月 2023金属薄膜式应变片金属薄膜式应变片是采用真空蒸发或真空沉淀等方法在薄的绝缘基片上形成0.1 μm以下的金属电阻薄膜的敏感栅，其加上保护层。它的优点是应变灵敏度高、允许电流密度大、工作范围广。 03 四月 2023半导体应变片半导体应变片是用半导体材料制成的，其工作原理是基于半导体材料的压阻效应。所谓压阻效应是指半导体材料在某一轴向受外力作用时，其电阻率ρ发生变化的现象。它的突出优点是灵敏度高、尺寸小、横向效应小、动态响应好。但它有温度系数大，应变时非线性关系比较严重等缺点。 03 四月 20231）电阻应变片的检查电阻应变片的检查包括外观检查和电阻检查。（1）外观检查。检查敏感栅排列是否整齐、均匀、破损，引出线是否焊接牢固等。（2）电阻检查。电阻检查要精确到0.05Ω。2.电阻应变片的粘贴2）被测物体的表面处理为了保证一定的黏合强度，须将被测物体表面处理干净，清除杂质、油污和表面氧化层。粘贴表面应保持平整、光滑。粘贴表面面积约为应变片的3～5 倍。 03 四月 20233）确定贴片位置可用笔在被测物体表面划出定位线，粘贴时应使电阻应变片中心线与定位线对准。精密要求较高时，可以用光学投影的方法来确定贴片位置。4）粘贴应变片：首先用甲苯、丙酮等溶剂清洗被测物体表面，然后在清洗过的表面上均匀地涂一薄层黏合剂作底层。待其晾干后，再在此底层和电阻应变片基片的底面（也要先用溶剂清洗)各涂一层薄而均匀的黏合剂，待稍干后将电阻应变片贴在划线处，在电阻应变片上放一张玻璃纸，用手指按压，将多余的黏合剂和气泡挤出。 03 四月 20235）黏合剂的固化处理粘贴好电阻应变片后，根据所使用黏合剂的固化工艺要求进行固化处理。 6）粘贴质量检查：检查粘贴位置是否正确，黏合层是否有气泡和漏贴，敏感栅是否有短路和断路现象，以及敏感栅绝缘性能是否良好等。 03 四月 20237）引出线的焊接与防护：将引线和端子用烙铁焊接起来，注意不要把端子扯断。电阻应变片的引出线最好采用中间连接片引出，并加以固定。为保证电阻应变片工作的长期稳定性，应采取防潮措施，如在电阻应变片及其引线上涂以石蜡、环氧树脂等防护层。 03 四月 20233.电阻应变片的特性1）电阻应变片的横向效应敏感栅是由N条长度为l的直线段和直线段端部的（N-1）个半径为r的半圆圆弧组成的，若该应变片承受轴向应力而产生纵向拉应变 时，则各直线段的电阻将增加，但半圆则受到从 到 之间变化的应变，其电阻的变化将小于沿轴向安放的同样长度电阻丝电阻的变化，因而将直的电阻丝绕成敏感栅后，虽然长度不变，应变状态相同，但由于电阻应变片敏感栅的电阻变化减小，因而其灵敏度较整个电阻丝的灵敏度要小，这种现象称为电阻应变片的横向效应。 03 四月 2023 （a） （b） 图2-4 电阻应变片的轴向受力图及横向效应图为了减小电阻应变片横向效应产生的测量误差，现在一般多采用金属箔式应变片。 03 四月 20232）电阻应变片的初始电阻 电阻应变片未粘贴时，在室温下所测得的电阻称为电阻应变片的初始电阻，用符号R0表示。 R0越大，其允许的工作电压也越大，有利于灵敏度的提高。 R0常用的有60Ω、120Ω、250Ω、350Ω和1000Ω等，其中以120Ω最为常用。 03 四月 20231.3 电阻应变式传感器的测量转