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具有吹扫气流通道的气体喷射器.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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具有吹扫气流通道的气体喷射器.pdf

    本实用新型为一种具有吹扫气流通道的气体喷射器，包括一机台及一气体喷射头，机台上设有气流凹槽，其周围环设有复数晶圆承载凹槽。气体喷射头则位于气流凹槽上，气体喷射头中央设置有吹扫气流通道，且吹扫气流通道突出于气体喷射头底部，以喷出垂直气流至气流凹槽，令垂直气流撞击气流凹槽后转换为水平气流，使水平气流能喷射至周围晶圆承载凹槽内的晶圆的边角。本实用新型的吹扫气流通道具吹扫或清洁蚀刻的功能，且吹扫气流通道突出于气体喷射头底部，搭配机台的气流凹槽的内凹结构，能有效扫除晶圆边缘的粉尘及沉积物，提升产品制造合格

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214106268 U (45)授权公告日 2021.09.03 (21)申请号 202022423919.5 (22)申请日 2020.10.27 (30)优先权数据

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