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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型公开了半导体制造领域内的一种涂胶机目检区防护装置，包括设置在两个机台模组之间的导向组件，导向组件上方对应设有目检显微镜，所述导向组件包括两根导轨条，料带位于两根导轨条之间，每根所述导轨条上侧均设置有两组支撑调节组件，支撑调节组件包括底座，底座上设置有固定条板，固定条板上开设有腰形调节槽，可动条板上开设有螺栓孔，固定条板和可动条板通过紧固件相固定，可动条板顶部设置有支撑座，各支撑座上水平放置有防护罩，防护罩包括顶部罩板，顶部罩板的左右两侧均一体设置有竖直向下延伸的侧挡罩板。本实用新型能够
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214077615 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202022706258.7
(22)申请日 2020.11.20
(73)专利权人 江苏汇成光电有限公司
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