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- 2023-04-04 发布于四川
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一种晶圆自动检测机，包括主控单元，工作台和驱动电机，工作台上设有XYZ上料平台、设备机架及多个检测机构。设备机架上设置有操作面板和显示器，主控单元分别与操作面板、显示器和检测机构电性连接。驱动电机分别与XYZ上料平台和检测机构电性连接。检测机构包括气缸固定板，气缸固定板的一侧固定设置有升降驱动机构，升降驱动机构上连接有针卡驱动组件。产品安装组件固定在工作台的上表面，产品安装组件位于针卡驱动组件下方。本实用新型通过驱动电机驱动XYZ上料平台实现自动上下料，通过驱动电机驱动针卡驱动组件向下运动与产品
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214099597 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202120228869.7
(22)申请日 2021.01.27
(73)专利权人 广
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