一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜.pdf

本实用新型公开了一种梯形梳齿,所述梯形梳齿的根部宽度大于头部宽度,且所述梯形梳齿的宽度从梯形梳齿根部到梯形梳齿头部单调减小。梯形梳齿设计,其梳齿根部的宽度大于梳齿头部宽度,在保持梳齿平均宽度不变的情况下,可以大幅度增加梳齿根部的刚度;在芯片尺寸一定的情况下,采用本实用新型的梯形状梳齿结构,相较于现有技术中的矩形梳齿结构,可以大幅度提高梳齿驱动器的驱动扭矩、增大驱动角度,或者减小芯片尺寸、降低驱动电压,大幅度提高芯片的技术性能、降低芯片的成本。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214097963 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202022767909.3 (22)申请日 2020.11.25 (73)专利权人 苏州小优智能科技有限公司

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