原创力文档- 2
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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型公开了一种高度自动补偿稳定测量装置，包括：工件输送装置，工件输送装置上承载有工件；三维运动平台，三维运动平台设于工件输送装置的上方，三维运动平台上设有高度测量装置和视觉识别装置，高度测量装置和视觉识别装置在三维运动平台的驱动下在xy平面内活动；顶升机构，顶升机构设于工件的下方，顶升机构的一部分可沿z轴活动，以将工件顶起。本实用新型结构简单，通过将高度测量装置和视觉识别装置设置为在xy平面内活动，避免了高度方向的测量误差，同时利用顶升机构调节将工件顶起的高度，实现了高度自动补偿，检测与调
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214099587 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202120255741.X H01L 21/687 (2006.01)
(22)申请日
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