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一种改善EL黑斑的离子气流发生装置.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种改善EL黑斑的离子气流发生装置.pdf

    本实用新型公开了一种改善EL黑斑的离子气流发生装置，设置于扩散退火炉出口端，包括一对相对设置在传输线两侧的离子气流发生装置，与传输线平行设置；离子气流发生装置包括管状的壳体，壳体的一端为密封端，另一端接入压缩气体和高压电源；沿着管长方向所述壳体的表面等距离的开设若干个吹气孔，安装时吹气孔朝向所述传输线的一侧安装；在壳体内部还包括等距离设置的若干个离子针，离子针采用并联的方式与高压电源相连。本实用新型的装置通过将空气周围的空气电离成正离子和负离子，并压缩气体将这些离子吹向石英舟上的硅片，将硅片表面

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214100239 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202023323164.8 (22)申请日 2020.12.31 (73)专利权人 阜宁苏民绿色能源科技有限公司

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