1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

光刻机载片台清扫装置.pdfVIP

  • 4
  • 0
  • 约1万字
  • 约 11页
  • 2023-04-04 发布于四川
  • 举报

光刻机载片台清扫装置.pdf

    本实用新型公开了光刻机载片台清扫装置，包括清洁箱，所述清洁箱的下表面为开口结构，所述清洁箱的右、右侧壁分别开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内壁分别螺纹连接有螺纹顶丝，两个所述螺纹顶丝的相对端的延伸至清洁箱的内腔，所述螺纹顶丝的外表面螺纹连接有固定螺母。该光刻机载片台清扫装置，通过设置清洁箱和功能箱内部的吹风机构、吸尘机构和清洗机构组成的一套清扫装置，可以对光刻机载片台进行吹尘、吸尘和酒精清洗消毒的组合操作，通过设置清洁箱的下表面为开口结构，可以方便将清洁箱通过滑轮移动到载片台的上方位置，使得载片台位于

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214108106 U (45)授权公告日 2021.09.03 (21)申请号 202022430056.4 A61L 2/18 (2006.01)

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >