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电浆清洁设备.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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电浆清洁设备.pdf

    本实用新型是一种电浆清洁设备，包括腔体、射频电极、载台、电极与第一遮板，其中第一遮板相邻腔体顶部，且第一遮板具有复数第一开口以形成非平整底面。在电浆清洁设备的清洁过程中，氩离子撞击载台上的铝基板，而溅镀出来的铝与腔体中的脏污反应，并吸附在第一遮板的非平整底面，以降低腔体他处受脏污附着的机率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214099595 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202120071345.1 (22)申请日 2021.01.12 (73)专利权人 鑫天虹(厦门)科技有限公司

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