原创力文档- 22
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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型公开了一种刻蚀机的刻蚀腔体结构，包括方体，所述方体内部开设有第一凹槽，所述第一凹槽内部设有从动轴，所述从动轴外壁转动连接有第一支撑板，所述第一支撑板一端与第一凹槽内壁固定连接，所述从动轴一端固定连接有转杆，所述转杆远离从动轴一端固定连接有滑块。本实用新型通过在电机输出轴一端设置主动轴，主动轴与第一凹槽之间的轴承，可以有效减少摩擦阻力，转杆和滑块的加入，使活动板可以往复运动，第一滑槽的加入，使滑杆的运动轨迹得到限制，弹簧的加入，使滑板可以回到原来位置，第一滑槽长度与第二滑槽长度相等，第一
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214075238 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202022514647.X
(22)申请日 2020.11.03
(73)专利权人 无锡芯汉电子科技有限公司
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