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MEMS传感器和电子设备.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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MEMS传感器和电子设备.pdf

    本申请实施例提供了一种MEMS传感器和电子设备，包括基板、壳体、MEMS芯片和挡片。所述壳体盖设在所述基板上形成容纳腔，所述壳体远离所述基板的一侧设置有气孔，所述MEMS芯片设置于所述容纳腔内并与所述气孔至少部分正对，所述挡片至少部分设置于所述气孔和所述MEMS芯片之间，并至少遮挡所述气孔与所述MEMS芯片正对的部分。本申请实施例提供的所述MEMS传感器通过将所述挡片的至少部分设置于正对的所述气孔和所述MEMS芯片之间，以有效地降低通过所述气孔的外部冲击对所述MEMS芯片的影响，提升了所述MEM

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214101785 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202023090827.6 (22)申请日 2020.12.18 (73)专利权人 歌尔微电子有限公司

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