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双向功率器件.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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双向功率器件.pdf

    本申请公开了一种双向功率器件，包括：半导体层；第一掺杂区，位于半导体层中；第一沟槽区的多个沟槽，位于第一掺杂区中，将第一掺杂区分隔为交替的第一类子掺杂区与第二类子掺杂区；栅介质层，覆盖第一沟槽区的多个沟槽的下部侧壁；屏蔽介质层，覆盖第一沟槽区的多个沟槽的上部侧壁；以及栅极导体，位于第一沟槽区的多个沟槽中，并分别与栅介质层和屏蔽介质层接触，栅极导体包括相连的控制栅与屏蔽栅，控制栅与栅介质层接触，屏蔽栅与屏蔽介质层接触，其中，屏蔽介质层的厚度不一致，至少部分屏蔽介质层的厚度大于栅介质层的厚度。该双向

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214123858 U (45)授权公告日 2021.09.03 (21)申请号 202022417362.4 (22)申请日 2020.10.27 (73)专利权人 杭州士兰微电子股份有限公司

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