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工艺废气输送装置.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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工艺废气输送装置.pdf

    本实用新型公开了一种工艺废气输送装置，包括废气输送管，所述废气输送管上至少设置有一圈间隔分布的氮气接入管，且同一圈所述氮气接入管排出的热氮气形成沿顺时针或逆时针方向运动的旋转气流；任意一所述氮气接入管的气体排出方向与所述废气输送管外壁的母线之间均具有大于0°且小于90°的夹角。在热氮气的冲击作用下，废气输送管内将形成旋转向前运动的螺旋状气流，从而使废气输送管的中心位置形成低压区，粉尘等杂质向废气输送管的中心位置聚集并被旋转气流裹挟排出，有效避免粉尘堆积；一些游离至废气输送管内壁位置的粉尘也会被旋

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214094013 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202022715580.6 (22)申请日 2020.11.20 (73)专利权人 泉芯集成电路制造（济南）有限公

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