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用于气相沉积法的硫进气量控制装置.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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用于气相沉积法的硫进气量控制装置.pdf

    本实用新型公开了一种用于气相沉积法的硫进气量控制装置，包括加热仓体、进出气机构、加热机构、检测机构和升降机构，加热仓体由外向内依次为密封外壳、保温夹层和抗腐蚀隔板，所述密封外壳为不锈钢制成的空心长方体，进出气机构固定在加热仓体的左右两侧，加热机构、检测机构和升降机构均固定在加热仓体内部。本装置结构简单、设计合理，利用PLC和传感器配合，实现对加热机构和进出气机构的自动调整，精准控制进入气相沉积法反应区域的硫粉的温度和流量，具有极强的实际应用价值。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214088656 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202023202738.6 (22)申请日 2020.12.28 (73)专利权人 山东省科学院新材料研究所

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